今道高志

マイクロシステム技術の応用化に関する研究ＳＲ光リソグラフィーによる電鋳金型用ナノ精度母型の開発

概要: 需要が増大している光通信用精密部品を、マイクロ・ナノテク技術の超精密加工方法の一つとして注目されているLIGAプロセスにより開発を行う。LIGA プロセスは、シンクロトロン放射光を利用したリソグラフィー、電鋳（電気メッキ）および金属やセラミックス材料のモールド（粉末成形）を組み合わせた技術である。本研究はSR光のもつ直進性と透過性により、アスペクト比の大きな超微細形状構造を有するアクリルの超精密金型母型の開発を目的として、厚みのあるPMMA板を用いたSR光リソグラフィーにより、多芯構造物の作製を行った。

概要: マイクロマシンの製作技術として期待されているLIGAプロセスでX線源として高強度で透過性・指向性の良いSR光を用いることにより、アスペクト比の大きな形状を作製可能となる。このプロセスで利用される材料は金属、セラミックス、プラスチックなど選択範囲が広く、超精密部品、高機能マイクロセンサなどの開発に大いに期待されている。しかし、この技術の有効性は確かめられ、プロセスに関する研究は多く行われるようになってきたが、実用化に向けた研究は十分でなく検討をさらに行う必要がある。本研究では超伝導小型SR装置の利用によりマイクロマシン分野でのLIGAプロセスの確立を目指し、実用化に向けた検討を実施した。

概要: 材料の表面改質は耐熱性、耐食性、耐摩耗性などの特性を向上させる有効な手段として広く利用され、より過酷な条件下での使用を可能にする技術として多くの分野への応用が期待されている。しかし、これら技術には異質な材料での表面形成や従来技術の複合化等、複雑な要因が増加している。本研究では表面改質処理材の強度特性を明らかにすることを目的とし、これまでに行った大気中および腐食環境下で回転曲げ疲労試験結果について、破面観察等の解析を実施した。